반도체, 의료 기기, 광학 또는 재생 에너지와 같은 산업에 관여하는 경우이 용어를 들었을 것입니다.혈장 증착 장비.그러나 생산 라인, 품질 관리 및 결론은 진정으로 무엇을 의미합니까? 이 분야에서 20 년이 넘는 노련한 전문가로서, 나는이 기술이 틈새 도구에서 제조 초석으로 진화하는 것을 보았습니다. 이 안내서는 중요한 기술 사양에 중점을 두어 알아야 할 모든 것을 세분화합니다.
핵심적으로 혈장 증착 장비는 혈장 상태 (이온, 전자 및 중성 입자를 함유 한 고도로 이온화 된 가스)를 이용하여 얇고 균일 한 필름을 기판에 침착시킨다. 혈장 강화 화학 증기 증착 (PECVD)으로 알려진이 공정은 우수한 접착력, 탁월한 적합성을 제공하며 전통적인 방법에 비해 낮은 온도에서 작동합니다. 이것은 열에 민감한 재료를 코팅하는 데 필수 불가결합니다.
모든 증착 시스템이 동일하게 생성되는 것은 아닙니다. Suzhou Airico Machinery Equipment Co., Ltd.의 기계는 정밀, 신뢰성 및 확장 성을 위해 설계되었습니다. 우리는 당신의 성공이 일관되고 고품질의 생산량과 빠른 투자 수익에 달려 있음을 이해합니다. 우리의 장비는 그것을 몇 번이고 정확히 전달하도록 설계되었습니다.
사양을 이해하는 것은 정보에 입각 한 결정을 내리는 데 중요합니다. 다음은 명확성 및 전문 검토를 위해 제시된 표준 PECVD 시스템의 중요한 매개 변수에 대한 자세한 분석입니다.
주요 시스템 사양 :
증착 속도 :50-500 nm/min (재료 및 프로세스 레시피를 기준으로 조정 가능)
기본 압력 :<1.0 x 10 -6 torr
공정 압력 범위 :100 MTORR - 5 Torr
기판 크기 호환성 :2 인치까지 8 인치까지의 웨이퍼 또는 맞춤형 기판에 대해 구성 가능합니다.
빠른 비교 개요를 위해 핵심 기능을 요약하는 테이블은 다음과 같습니다.
| 매개 변수 범주 | 사양 세부 사항 | 귀하의 프로세스에 도움이됩니다 |
|---|---|---|
| 진공 성능 | 기본 압력 : <1.0 x 10 |
오염 물질이없는 깨끗한 가공 환경을 보장합니다. |
| 증착 제어 | 속도 : 50-500 nm/min | 빠른 프로토 타이핑 및 고 처리량 생산에 대한 유연성을 제공합니다. |
| 온도 제어 | 최대 500 ° C (± 2 ° C)의 가열 단계 | 타협없이 온도에 민감한 재료를 처리 할 수 있습니다. |
| 영화 품질 | 균일 성 : <± 3% | 모든 부분에서 일관된 층 두께와 재료 특성을 보장합니다. |
| 자동화 수준 | 레시피 스토리지가있는 PLC | 작업자 오류를 줄이고 반복성을 보장하며 교육을 단순화합니다. |
이 세심한 엔지니어링은 Suzhou Airico Machinery Equipment Co., Ltd.에서 우리가 배송하는 모든 부대를 보장하여 가장 높은 국제 표준을 충족시켜 구매 일뿐 만 아니라 혁신 분야의 장기적인 파트너십을 제공합니다.
1. 혈장 증착 장비의 주요 유지 보수 요구 사항은 무엇입니까?
정기적 인 유지 보수는 수명과 일관된 성능에 중요합니다. 주요 작업에는 박막 축적을 제거하기위한 증착 챔버의 정기적 인 청소, O- 링 검사 및 교체, 진공 완전성을 유지하고 6-12 개월마다 질량 유량 제어기 및 압력 게이지를 교정하고 RF 생성기 및 매칭 네트워크를 검사하는 것이 포함됩니다. Suzhou Airico의 시스템은 서비스를 염두에두고 설계되었으며, 쉽게 접근 할 수있는 포트와 세부 유지 보수 매뉴얼을 특징으로하여 다운 타임을 최소화합니다.
2. 전구체 가스의 선택은 혈장 증착 공정에서 최종 코팅에 어떤 영향을 미칩니 까?
전구체 가스는 증착 된 필름의 화학적 조성을 정의하기 때문에 기본적이다. 예를 들어, 암모니아 (NH 3 )와 함께 Silane (SIH 4 )을 사용하면 질화 실리콘 (SIN) 필름이 발생하며, 이는 수파화 및 절연에 탁월합니다. 아산화 질소 (n <<서브> 2 o)와 함께 실란을 사용하면 이산화 실리콘을 생성합니다 (SIO 2 ). 메탄 (CH 4 ) 또는 헥사 메틸 디시 실록산 (HMDSO)과 같은 가스를 첨가하면 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 또는 실리콘 기반 유기 필름을 생성 할 수 있습니다. 당사의 기술 팀은 특정 응용 프로그램에 적합한 화학을 선택하는 데 도움을 줄 수 있습니다.
3. 혈장 증착 장비는 비표준 기판 형태 또는 크기를 처리 할 수 있습니까?
전적으로. 표준 구성은 일반적인 웨이퍼 크기에 최적화되어 있지만 Suzhou Airico에서 맞춤형 엔지니어링 솔루션을 제공하는 데 전문화됩니다. 여기에는 의료 기기 구성 요소, 광학 렌즈 또는 특수 공구와 같은 복잡한 형상을위한 설비 및 전극 시스템 설계가 포함됩니다. 우리는 귀하의 기판의 요구 사항을 이해하고 그에 따라 장비를 조정하여 도전적인 3D 표면에서도 균일 한 코팅 커버리지를 보장하기 위해 직접 협력합니다.
올바른 플라즈마 증착 장비에 투자하는 것은 제품 품질을 높이고 새로운 설계를 가능하게하며 제조 효율성을 향상시킬 수있는 전략적 결정입니다. 기술적 우월성을 통해 경쟁 우위를 확보하는 것입니다. 여기에 제공된 세부 매개 변수와 FAQ는 우리가 테이블에 가져 오는 엔지니어링 깊이 및 응용 프로그램 전문 지식에 대한 증거입니다.
정밀 코팅 된 미래가 어떻게 제품을 찾을 수 있는지 탐구 할 준비가 되셨습니까? 팀Suzhou Airico Machinery Equipment Co., Ltd.당신과 파트너 관계를 맺을 준비가되었습니다. 우리는 단지 기계를 판매하지 않습니다. 우리는 초기 상담 및 사용자 정의 구성에서 설치, 교육 및 지속적인 지원에 이르기까지 포괄적 인 솔루션을 제공합니다.
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